|
| MOQ: | 1 peça |
| preço: | US $ 15/PC |
| Embalagem padrão: | cilindro/tanque |
| Período de entrega: | 15 dias |
| Método do pagamento: | L/C, T/T |
| Capacidade de abastecimento: | 200 toneladas/ano |
O hexafluoreto de tungstênio (WF6) é um composto químico composto por um átomo de tungstênio e seis átomos de flúor.O hexafluoreto de tungstênio é altamente reativo e pode reagir violentamente com água ou humidade no ar, liberando gás tóxico fluoreto de hidrogénio.
As aplicações do hexafluoreto de tungstênio incluem a sua utilização como precursor para o depósito de películas de tungstênio em processos de fabricação de semicondutores.É comumente usado em técnicas de deposição química de vapor (CVD) para criar filmes finos de tungstênio para várias aplicaçõesO hexafluoreto de tungstênio é preferido nestes processos devido à sua alta pressão de vapor, que permite uma deposição eficiente.
No entanto, é importante manipular e armazenar o hexafluoreto de tungsténio com precaução devido à sua reactividade e toxicidade.incluindo a utilização de equipamentos de protecção e procedimentos de manuseio adequados, devem ser seguidas ao trabalhar com este composto.
| Elementos de ensaio | Unidades | Requisitos de qualidade | Resultados dos ensaios |
| CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| O2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
| CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Al | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Como | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| B | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Ca | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
| Cr | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Fe | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
| K | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
| - Não | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Não. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
| - Não. | ppb | ≤ 0.1 | < 0.001 |
| Ti | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Li | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| U | ppb | ≤ 0.05 | < 0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Sim | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| P | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
| Mg | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Não. | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
| Cu | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
| Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Impuridades totais de outros metais | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
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| MOQ: | 1 peça |
| preço: | US $ 15/PC |
| Embalagem padrão: | cilindro/tanque |
| Período de entrega: | 15 dias |
| Método do pagamento: | L/C, T/T |
| Capacidade de abastecimento: | 200 toneladas/ano |
O hexafluoreto de tungstênio (WF6) é um composto químico composto por um átomo de tungstênio e seis átomos de flúor.O hexafluoreto de tungstênio é altamente reativo e pode reagir violentamente com água ou humidade no ar, liberando gás tóxico fluoreto de hidrogénio.
As aplicações do hexafluoreto de tungstênio incluem a sua utilização como precursor para o depósito de películas de tungstênio em processos de fabricação de semicondutores.É comumente usado em técnicas de deposição química de vapor (CVD) para criar filmes finos de tungstênio para várias aplicaçõesO hexafluoreto de tungstênio é preferido nestes processos devido à sua alta pressão de vapor, que permite uma deposição eficiente.
No entanto, é importante manipular e armazenar o hexafluoreto de tungsténio com precaução devido à sua reactividade e toxicidade.incluindo a utilização de equipamentos de protecção e procedimentos de manuseio adequados, devem ser seguidas ao trabalhar com este composto.
| Elementos de ensaio | Unidades | Requisitos de qualidade | Resultados dos ensaios |
| CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| O2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
| CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Al | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Como | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| B | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Ca | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
| Cr | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Fe | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
| K | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
| - Não | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Não. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
| - Não. | ppb | ≤ 0.1 | < 0.001 |
| Ti | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Li | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| U | ppb | ≤ 0.05 | < 0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Sim | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| P | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
| Mg | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Não. | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
| Cu | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
| Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Impuridades totais de outros metais | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
