MOQ: | 1 kg |
preço: | US $60/kg |
Embalagem padrão: | cilindro/tanque |
Período de entrega: | 15 dias |
Método do pagamento: | L/C, T/T |
Capacidade de abastecimento: | 20000 toneladas/ano |
O trifluoreto de nitrogênio (NF3) é um composto químico composto por um átomo de nitrogênio e três átomos de flúor.Aqui estão alguns pontos-chave sobre o trifluoreto de nitrogênio:
Produção: NF3 pode ser produzido pela reação da amônia (NH3) com o gás flúor (F2).a temperaturas elevadas.
Propriedades: NF3 é um gás estável à temperatura e pressão ambiente. Tem um ponto de ebulição de -129 °C (-204 °F) e um ponto de fusão de -206 °C (-339 °F).mas pode suportar a combustãoO NF3 é solúvel em água e em alguns solventes orgânicos.
Utilizações: O trifluoreto de nitrogénio é utilizado principalmente como agente de limpeza para a remoção de depósitos de película fina na indústria de semicondutores.É comumente usado para limpar equipamentos como câmaras de deposição de vapor químico (CVD)NF3 é preferido para esta aplicação devido à sua alta seletividade de gravação e baixa reatividade com o silício.
Impacto Ambiental: O NF3 é um potente gás de efeito estufa com um elevado potencial de aquecimento global (GWP).Embora a sua concentração atmosférica seja relativamente baixa em comparação com outros gases com efeito de estufa, a sua longa vida atmosférica contribui para o seu impacto significativo no aquecimento global.
Considerações de segurança: O trifluoreto de nitrogênio pode ser perigoso quando mal manuseado ou liberado em grandes quantidades.O gás NF3 é também irritante para o sistema respiratório e pode causar irritação ocular e cutânea.Devem observar-se precauções de segurança adequadas, incluindo ventilação adequada e equipamento de protecção individual, quando se trabalha com NF3.
- Não.
Informações básicas.
Peso Molecular | 147.05 | Densidade | 20,96 kg/m3 |
Ponto de fusão | -206,79oC | Ponto de ebulição | -129,0oC |
Aparência | Incolor, inodoro. | Não, não. | 2451 |
Classe DOT | 2.2 e 5.1 | Válvula | Diss640 |
Padrão do cilindro | GB/ISO/DOT | Pressão do cilindro | 15Mpa/20Mpa |
Pacote de transporte | 47L/440L | Especificações | 990,99%,99.996% |
Marca comercial | CMC | Origem | China |
Código do SH | 28129011 | Capacidade de produção | 5000 toneladas/ano |
Especificações:
Especificações | Padrão da empresa |
NF3 | ≥ 99,996% |
CF4 | ≤20 ppm |
N2 | ≤5 ppm |
O2+AR | ≤3 ppm |
CO | ≤1 ppm |
CO2 | ≤0.5 ppm |
N2O | ≤1 ppm |
SF6 | ≤2 ppm |
Água | ≤1 ppm |
Expresso em HF | ≤1 ppm |
Foto detalhada
MOQ: | 1 kg |
preço: | US $60/kg |
Embalagem padrão: | cilindro/tanque |
Período de entrega: | 15 dias |
Método do pagamento: | L/C, T/T |
Capacidade de abastecimento: | 20000 toneladas/ano |
O trifluoreto de nitrogênio (NF3) é um composto químico composto por um átomo de nitrogênio e três átomos de flúor.Aqui estão alguns pontos-chave sobre o trifluoreto de nitrogênio:
Produção: NF3 pode ser produzido pela reação da amônia (NH3) com o gás flúor (F2).a temperaturas elevadas.
Propriedades: NF3 é um gás estável à temperatura e pressão ambiente. Tem um ponto de ebulição de -129 °C (-204 °F) e um ponto de fusão de -206 °C (-339 °F).mas pode suportar a combustãoO NF3 é solúvel em água e em alguns solventes orgânicos.
Utilizações: O trifluoreto de nitrogénio é utilizado principalmente como agente de limpeza para a remoção de depósitos de película fina na indústria de semicondutores.É comumente usado para limpar equipamentos como câmaras de deposição de vapor químico (CVD)NF3 é preferido para esta aplicação devido à sua alta seletividade de gravação e baixa reatividade com o silício.
Impacto Ambiental: O NF3 é um potente gás de efeito estufa com um elevado potencial de aquecimento global (GWP).Embora a sua concentração atmosférica seja relativamente baixa em comparação com outros gases com efeito de estufa, a sua longa vida atmosférica contribui para o seu impacto significativo no aquecimento global.
Considerações de segurança: O trifluoreto de nitrogênio pode ser perigoso quando mal manuseado ou liberado em grandes quantidades.O gás NF3 é também irritante para o sistema respiratório e pode causar irritação ocular e cutânea.Devem observar-se precauções de segurança adequadas, incluindo ventilação adequada e equipamento de protecção individual, quando se trabalha com NF3.
- Não.
Informações básicas.
Peso Molecular | 147.05 | Densidade | 20,96 kg/m3 |
Ponto de fusão | -206,79oC | Ponto de ebulição | -129,0oC |
Aparência | Incolor, inodoro. | Não, não. | 2451 |
Classe DOT | 2.2 e 5.1 | Válvula | Diss640 |
Padrão do cilindro | GB/ISO/DOT | Pressão do cilindro | 15Mpa/20Mpa |
Pacote de transporte | 47L/440L | Especificações | 990,99%,99.996% |
Marca comercial | CMC | Origem | China |
Código do SH | 28129011 | Capacidade de produção | 5000 toneladas/ano |
Especificações:
Especificações | Padrão da empresa |
NF3 | ≥ 99,996% |
CF4 | ≤20 ppm |
N2 | ≤5 ppm |
O2+AR | ≤3 ppm |
CO | ≤1 ppm |
CO2 | ≤0.5 ppm |
N2O | ≤1 ppm |
SF6 | ≤2 ppm |
Água | ≤1 ppm |
Expresso em HF | ≤1 ppm |
Foto detalhada